掃描電鏡可以采集多種不同類型的信號(hào)用于成像和分析，其中二次電子(SE)和背散射電子(BSE)信號(hào)是基本也是常見的兩種信號(hào)類型。
不同廠家和型號(hào)的電鏡在采集SE，BSE信號(hào)時(shí)所用的探測(cè)器都具有各自特的技術(shù)，但旁置式二次電子探測(cè)器和極靴下背散射電子探測(cè)器在架構(gòu)和工作原理方面相對(duì)固定，應(yīng)用也很廣泛，因此本文只會(huì)對(duì)旁置式二次電子探測(cè)器和極靴下背散射電子探測(cè)器進(jìn)行介紹。

蔡司解決方案在增材制造領(lǐng)域的應(yīng)用范圍覆蓋粉末和材料分析，所使用的設(shè)備包括光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡、X射線技術(shù)。
使用光學(xué)顯微鏡來(lái)測(cè)試金屬粉末的粒徑分布
使用SEM掃描電鏡對(duì)3D打印金屬粉末的球形度和實(shí)心性進(jìn)行分析
使用CT對(duì)粉末顆粒的寬高比和粒徑進(jìn)行分析
對(duì)于內(nèi)部缺陷，蔡司的解決方案也能輕松檢測(cè)，比如微裂紋、分層、疲勞裂紋、盈利、孔隙率、粉末殘留物和氣孔等。

真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。
真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。