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電子束光刻膠AR-P617

更新時間：2025-10-07 [舉報]

點：


? 用于高分辨率電子束曝光、單層/多層lift-off工藝等

? 感光波段：e-beam、deep UV(248nm)

? 高分辨率(< 10nm)，高靈敏度(PMMA靈敏度的3~4倍)


旋涂曲線：


617 - 副本.png


標簽：德國ALLRESIST
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