隨著新一代IGBT芯片及功率密度的進一步提高,對功率電子模塊及其封裝工藝要求也越來越高,特別是芯片與基板的互連技術(shù)很大程度上決定了功率模塊的壽命和可靠性。
以AS9385有壓燒結(jié)銀膏為例,在燒結(jié)過程中,銀顆粒通過接觸形成燒結(jié)頸,銀原子通過擴散遷移到燒結(jié)頸區(qū)域,從而燒結(jié)頸不斷長大,相鄰銀顆粒之間的距離逐漸縮小,形成連續(xù)的孔隙網(wǎng)絡,隨著燒結(jié)過程的進行,孔洞逐漸變小,燒結(jié)密度和強度顯著增加,在燒結(jié)后階段,多數(shù)孔洞被完全分割,小孔洞逐漸消失,大空洞逐漸變小,直到達到終的致密度。
燒結(jié)得到的連接層為多孔性結(jié)構(gòu),孔洞尺寸在微米及亞微米級別,連接層具有良好的導熱和導電性能,熱匹配性能良好。