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半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來(lái)替代硅材料,但未來(lái)幾年可以預(yù)見,硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問題。 藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室移動(dòng)，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；、當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進(jìn)而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對(duì)下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。

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其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時(shí)效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長(zhǎng)期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn),采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運(yùn)行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強(qiáng)的實(shí)用性和經(jīng)濟(jì)推廣價(jià)值。1離線裝料的工作原理使用一個(gè)真空吸盤和一個(gè)特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,