濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

關(guān)于真空鍍膜機所用的塑料材料，需要與膜層結(jié)合性高，放氣量小，受熱穩(wěn)定，一起滿意這三個條件的塑料資料是十分少的，但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應(yīng)用卻十分廣泛，所以塑料真空鍍膜機的應(yīng)用也隨之發(fā)展起來，為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中，常常經(jīng)過各種方法改善。

PETP聚對苯二甲酸乙二醇醋，簡稱聚酯，是繼ABS后又一種滿意三種條件的塑料，所鍍的膜層具有很好的拉伸強度，耐性大。PS聚苯乙烯能夠接受100℃以下的溫度，真空鍍膜的習(xí)慣性也好，無色無味，耐酸堿性，是一種十分好的絕緣資料，不過由于容易脆裂，所以用處不是很廣泛。PC聚碳酸酯也能夠進行真空鍍膜，機械功能和抗沖擊性也好，但價格相對來說比較高，并且在成型時如果控制欠好，容易發(fā)生開裂。PA聚酰胺真空鍍膜后能夠防油防潮，遮光和隔熱功能也十分好，能夠作為出產(chǎn)包裝產(chǎn)品的資料。

聚乙烯由于真空鍍膜習(xí)慣差，但經(jīng)過改造后仍是能夠用于真空鍍膜的，但只能出產(chǎn)等級低的包裝產(chǎn)品或隔熱產(chǎn)品，聚丙烯比聚乙烯受熱更穩(wěn)定，并且十分輕，所以其利用價值比較高，不過聚丙烯與膜層的結(jié)合性比較差，所以表面處理后才能進行鍍膜，膜層作裝飾作為，使產(chǎn)品更漂亮。

前期清洗真空鍍膜機可以減少很多麻煩，避免濺射鍍膜機的很多小問題，對真空鍍膜機的工作效率和鍍膜質(zhì)量有非常積極的作用。它可以大大提高真空系統(tǒng)中所有壁面和其他部件表面在各種工況下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括:高溫、低溫以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。