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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。

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一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,在半導(dǎo)體材料中用量和用途廣的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95 %以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時(shí) ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當(dāng)今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實(shí)際意義。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，結(jié)束語/在工業(yè)中使用除塵器收集灰塵已經(jīng)有了上的歷史，但是，到目前為止，還沒有一種不論在什么條件下都能夠圓滿解決問題的除塵器。因此，要根據(jù)不同的具體情況選擇設(shè)計(jì)適用的除塵設(shè)備。對塵埃問題，世界各真空設(shè)備都有各種性能要求和規(guī)格的除塵器、過濾器供用戶選擇。國內(nèi)還沒有生產(chǎn)性能規(guī)格的除塵器、過濾器的工廠，大都由用戶自行設(shè)計(jì)加工。設(shè)計(jì)人員掌握除塵技術(shù)的基本知識，考慮許多技術(shù)經(jīng)濟(jì)因素才能滿足實(shí)際應(yīng)用的要求。