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眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對分子質(zhì)量是除氫（H）以外小的，是輕的惰性氣體。氣體管道的氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點。

1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內(nèi)檢漏法（氦氣注入法）是通過內(nèi)部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來進行的。

3.檢測閥座泄漏的方法在閥門前充入氦氣，并在下游抽真空。

4.使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內(nèi)填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點。

5.氦檢漏儀是質(zhì)譜氦檢漏器，檢測精度不低于1

高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

（1）通過向內(nèi)泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s；

（2）閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s；

（3）向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點修復(fù)后，重新進行氣密性試驗，合格后，再按規(guī)定進行氦檢漏。

8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進行隔熱。

9.系統(tǒng)測試后，用高純度氮氣或氬氣填充和清潔。

10.檢查后，應(yīng)提交試驗報告。