根據(jù)您的知識庫內(nèi)容以及相關標準GB/T 18867 2014《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》，以下是對電子六氟化硫全組分檢測的標準分析： ### 

1.    適用范圍     該標準適用于電子工業(yè)用六氟化硫氣體的檢測，主要用于半導體制造、液晶顯示屏、光纖制造等領域。     ### 

2. 2.   檢測目的     檢測六氟化硫氣體中的主要成分（如SF?）及其雜質(zhì)含量（如空氣、水分、可水解物、礦物油、四氟化碳等），確保其滿足電子工業(yè)對高純度的要求。     ### 

3. 3.   檢測項目   根據(jù)標準要求，需要檢測以下關鍵指標：     六氟化硫 (SF?) 含量  ：測定純度，通常要求≥99.9%。     雜質(zhì)氣體含量  ：   空氣含量   水分含量   可水解物含量   礦物油含量   四氟化碳 (CF?) 含量     其他可能的雜質(zhì)  ：如氮氣、氧氣等。     ### 

4. 4.   檢測方法       色譜法  ：使用氣相色譜儀（GC）進行檢測，配備熱導檢測器（TCD）或氦離子化檢測器（HID）。     載氣選擇  ：通常使用高純氦氣作為載氣。     樣品采集  ：按照GB/T 3723的規(guī)定執(zhí)行，確保采樣過程的安全性。     分析條件  ：包括柱溫、進樣溫度、檢測器溫度等參數(shù)需嚴格按照標準設定。     ### 

5. 5.   質(zhì)量要求     六氟化硫氣體純度應達到電子工業(yè)所需的高純度標準，雜質(zhì)含量需控制在極低水平，以避免影響半導體器件的性能。     如果您需要更詳細的檢測步驟或具體數(shù)值要求，請進一步明確需求！