由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復(fù)雜，任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格，甚至對終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此，測試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位，貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計、制造、包裝和應(yīng)用的整個過程中。

探針是半導(dǎo)體試驗所需的重要耗材。通過與試驗機(jī)、分揀機(jī)、探針臺配合使用，可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計缺陷和制造缺陷，用于設(shè)計驗證、晶圓試驗和成品試驗。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。

探針的選用

（1）材料：選擇材質(zhì)通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學(xué)惰性和機(jī)械性能，對探測的液體和氣體有不同的適應(yīng)性。

（2）形狀：選擇探針的形狀應(yīng)該根據(jù)實驗需求進(jìn)行選擇，通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等?？紤]到實驗的靈敏度問題，在選用探針時與被測物相匹配。

（3）長度：探針的長度是下降液面幅度的關(guān)鍵因素。為獲得準(zhǔn)確的下降水平，要根據(jù)實際測量需求選擇合適的長度。

（4）直徑：探針的粗細(xì)通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的探針會影響測量的靈敏度，過細(xì)的探針則可能會導(dǎo)致探針的折斷。

（5）表面處理：在實驗中，探針處于探測的介質(zhì)中，探針的表面形態(tài)和性質(zhì)會直接影響到測量結(jié)果。因此，探針的表面要求經(jīng)過光潔處理和表面處理。

探針的要求

（1）質(zhì)量問題：在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會導(dǎo)致測量誤差增大，嚴(yán)重時可能會損壞實驗設(shè)備。

（2）加工工藝問題：在探針的制作過程中，要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。

（3）使用注意事項：避免在測量過程中引入空氣，勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動測量，對于使用多個探針進(jìn)行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。

（4）存儲和保養(yǎng)問題：盡可能地存儲環(huán)境無除塵、避光性好；探針表面不能有刮傷等損壞，使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。

物理處理主要包括粉碎和篩分。，廢料被送入粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎，使其變?yōu)檩^小的顆粒。然后，顆粒通過篩網(wǎng)進(jìn)行分級，分離出不同粒度的廢料。

化學(xué)處理是提取金屬價值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中，稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后，通過化學(xué)反應(yīng)和沉淀，將金屬分離出來。