武漢半自動(dòng)探針臺(tái)全自動(dòng)探針測試臺(tái)是半導(dǎo)體測試領(lǐng)域的重要設(shè)備，二者在自動(dòng)化程度、操作方式、適用場景、成本效率等方面存在差異。

自動(dòng)化程度與操作方式
半自動(dòng)探針臺(tái)：結(jié)合了手動(dòng)操作和部分自動(dòng)控制功能。操作人員需進(jìn)行一些簡單操作，如移動(dòng)晶圓載物臺(tái)、調(diào)整顯微鏡焦距等，但設(shè)備也具備自動(dòng)定位、自動(dòng)移動(dòng)等功能。例如在測試過程中，操作人員需手動(dòng)將晶圓放置在載物臺(tái)上，之后設(shè)備可自動(dòng)將探針定位到待測點(diǎn)附近，再由操作人員進(jìn)行微調(diào)。
全自動(dòng)探針臺(tái)：實(shí)現(xiàn)了高度的自動(dòng)化，可根據(jù)預(yù)設(shè)程序自動(dòng)操作探針臂和探針，將其定位在待測物體上。用戶只需輸入指令，設(shè)備就能自動(dòng)完成晶圓的輸送、定位、測試等一系列操作，無需人工干預(yù)。
適用場景
半自動(dòng)探針臺(tái)
研發(fā)驗(yàn)證：在半導(dǎo)體器件的研發(fā)階段，需要對不同設(shè)計(jì)、不同工藝的樣品進(jìn)行大量測試和驗(yàn)證。半自動(dòng)探針臺(tái)的靈活性較高，操作人員可以根據(jù)實(shí)際需求隨時(shí)調(diào)整測試參數(shù)和測試位置，方便進(jìn)行各種探索性測試。
小批量生產(chǎn)：對于一些小批量生產(chǎn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品，使用半自動(dòng)探針臺(tái)可以在滿足測試需求的同時(shí)，降低設(shè)備成本。
全自動(dòng)探針臺(tái)
大規(guī)模量產(chǎn)：在大規(guī)模芯片生產(chǎn)中，需要快速、地對大量芯片進(jìn)行測試。全自動(dòng)探針臺(tái)可以連續(xù)工作，大大提高了測試效率和生產(chǎn)能力，能夠滿足大規(guī)模量產(chǎn)的需求。
特殊要求任務(wù)：適用于處理薄晶圓、封裝基板等具有特殊要求的任務(wù)。全自動(dòng)探針臺(tái)通常配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）、模式識(shí)別（自動(dòng)對準(zhǔn)）等功能，能夠確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。
成本與效率
半自動(dòng)探針臺(tái)
成本：價(jià)格相對較低，對于預(yù)算有限的企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室來說，是經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的選擇。
效率：相比手動(dòng)探針臺(tái)，效率有所提高，但與全自動(dòng)探針臺(tái)相比，測試速度較慢，適合對測試效率要求不是特別高的場景。
全自動(dòng)探針臺(tái)
成本：設(shè)備成本較高，包括購買成本、維護(hù)成本等。但由于其的生產(chǎn)能力，可以在一定程度上降低單位產(chǎn)品的測試成本。
效率：具有和率的特點(diǎn)，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量的測試操作，大大縮短了生產(chǎn)周期。
結(jié)構(gòu)組成
半自動(dòng)探針臺(tái)：主要由X - Y向工作臺(tái)、可編程承片臺(tái)、探針卡/探針卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（tester）相連的通信接口。其X - Y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可能采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)。
全自動(dòng)探針臺(tái)
機(jī)械系統(tǒng)：包括一個(gè)精密的XYZ坐標(biāo)系，用于控制探針的移動(dòng)，通常由的直線導(dǎo)軌、伺服電機(jī)和光學(xué)編碼器組成。此外，還包括一個(gè)可以容納多個(gè)探針的探針座，以及一個(gè)可以自動(dòng)更換探針的裝置。
光學(xué)系統(tǒng)：包含的顯微鏡和用于照明和觀察芯片的鏡頭，操作者可通過該系統(tǒng)清晰觀察芯片上的接觸點(diǎn)，并將探針準(zhǔn)確放置。
電氣系統(tǒng)：作為控制中心，包含主控制器、電源和與計(jì)算機(jī)連接的數(shù)據(jù)接口。主控制器負(fù)責(zé)控制機(jī)械和光學(xué)系統(tǒng)，電源提供能量，數(shù)據(jù)接口則傳輸測試數(shù)據(jù)至計(jì)算機(jī)處理。
軟件系統(tǒng)：控制整個(gè)測試過程，包括探針移動(dòng)、測試信號施加與測量、數(shù)據(jù)采集處理等，通常采用圖形用戶界面（GUI）方便操作和監(jiān)控。