保養(yǎng)方法
日保養(yǎng)

1． 打掃表面及內(nèi)腔灰塵，保持機器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關(guān)關(guān)閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風(fēng)機運轉(zhuǎn)是否正常，有無異常聲音，如有立即關(guān)閉機器并通知維修工檢修。

月保養(yǎng)

1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風(fēng)機運轉(zhuǎn)是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準(zhǔn)確，如不準(zhǔn)確，請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準(zhǔn)確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內(nèi)溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風(fēng)循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內(nèi)部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，了進入無塵空間的熱風(fēng)達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風(fēng)系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認(rèn)電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內(nèi)
(3)開啟電源開關(guān)并調(diào)整溫控儀表適當(dāng)溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風(fēng)開關(guān)，開啟加熱開關(guān)，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴(yán)禁離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設(shè)置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關(guān)，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風(fēng)機運轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機從電機端看進去應(yīng)為逆時針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。

無塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無塵潔凈烤箱的日常維護保養(yǎng)工作，使用、維護應(yīng)有專職人員進行，保養(yǎng)時先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內(nèi)部無塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。