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在該爐工作前，由設于排氣口 13上的真空泵將爐內空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時，爐內的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質生成，因此在不斷充入的同時，所述真空泵同時將一氧化硅、粉 塵雜質與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動過程為從石英坩堝上 方經坩堝支持器14與發(fā)熱體16之間的間隙，以及發(fā)熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導向裝置20,然后經圖6中的氣流導向裝置20的一對 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實施例的氣流導向裝置20可有效減小爐內空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，

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上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用，即可滿足轉動所需的扭矩，又可實現(xiàn)轉速的控制。質量流量計控制流量。自主產權的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。