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多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng),由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造,使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。
關(guān)于真空鍍膜機(jī)所用的塑料材料,需要與膜層結(jié)合性高,放氣量小,受熱穩(wěn)定,一起滿意這三個條件的塑料資料是十分少的,但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應(yīng)用卻十分廣泛,所以塑料真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用也隨之發(fā)展起來,為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中,常常經(jīng)過各種方法改善。
聚乙烯由于真空鍍膜習(xí)慣差,但經(jīng)過改造后仍是能夠用于真空鍍膜的,但只能出產(chǎn)等級低的包裝產(chǎn)品或隔熱產(chǎn)品,聚丙烯比聚乙烯受熱更穩(wěn)定,并且十分輕,所以其利用價值比較高,不過聚丙烯與膜層的結(jié)合性比較差,所以表面處理后才能進(jìn)行鍍膜,膜層作裝飾作為,使產(chǎn)品更漂亮。
塑膠具有易成型,價格便宜,質(zhì)量輕,防腐蝕等長處,但塑膠的缺陷也比較,其缺陷也制約了塑膠的應(yīng)用規(guī)模,如不美觀、易老化、機(jī)械功能差、易碎易變型、耐熱差等。經(jīng)過真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用,使塑膠外表鍍上特定膜層,東莞匯成真空自主研制出產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備將鍍膜機(jī)資料和塑膠產(chǎn)呂結(jié)合,大大提高了塑膠制品的物理、化學(xué)功能。
在鍍膜的過程中,由于工件內(nèi)氣體的受熱膨脹,很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開裂。當(dāng)然,這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的,比如塑料,概率就比較高,而對于堅硬的材料,比如金屬,概率就比較低,但也不能忽略。因此,工件的除氣是非常必要的。
工件常用的除氣方法是烘烤。工件中的氣體和水分通過加熱排出。涂裝前,工件邊抽邊加熱。當(dāng)工件中的水分和氣體因受熱而釋放出來時,它們與真空室中的氣體一起被真空泵抽出。針對不同的工件采取不同的脫氣措施,可以有效控制工件內(nèi)部氣體和水的排放,提高涂層的穩(wěn)定性和均勻性。
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