一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以內是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

一般的電熱（鼓風）無塵干燥箱均設有溫度均勻度參數：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數，這是為什么？真空干燥箱內依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數的原因。

保養(yǎng)方法
日保養(yǎng)

1． 打掃表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關關閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風機運轉是否正常，有無異常聲音，如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

月保養(yǎng)

1． 檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風機運轉是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應將氮氣接通本機之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調節(jié)至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內后須將門面關閉，門扣確實扣緊后，門面安全開關有作用，機臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風口，請接至排氣系統(tǒng)冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環(huán)境。
在開始工作前的話要確認電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內，開啟電源開關并調整溫控儀表、適當的溫度與加熱恒溫時間，并目操作人員要專心操作并配戴防護器具:并不得離開加工區(qū)

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產品烘烤，可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關單位作生產烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產品質量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產品放置烘箱內
(3)開啟電源開關并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風開關，開啟加熱開關，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設置1、設置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結塊等現象；2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時關閉電源并聯系儀器負責人；3、操作人員需待實際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現異常需第D一時間關閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設定好，再將定時開關擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風條件的室內，在其周圍不可放置易燃易爆物品。