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直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導(dǎo)流筒，IO為爐底護(hù)盤(pán)、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長(zhǎng)過(guò)程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。

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服務(wù)宗旨：誠(chéng)實(shí)、公正、守信、價(jià)格合理、平等互利。業(yè)務(wù)人員拆運(yùn)自提回收，按市場(chǎng)的時(shí)價(jià)，給顧客一個(gè)合理價(jià)格，以求長(zhǎng)遠(yuǎn)的合作。介紹業(yè)務(wù)者有豐厚酬勞!

液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開(kāi)啟，爐室、副爐室上升到位后對(duì)稱旋出，保主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動(dòng)取出晶體，拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過(guò)振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了防止在副爐室移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托，所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動(dòng)推桿、接晶托電機(jī)和固定管，所述電動(dòng)推桿連接在副爐室旋臂上，所述提升桿連接在電動(dòng)推桿的推桿上，以便通過(guò)推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降，所述接晶托電機(jī)連接在提升桿上，所述托板連接在接晶托電機(jī)的輸出軸上，以便通過(guò)接晶托電機(jī)驅(qū)動(dòng)托板旋轉(zhuǎn)，所述固定管套裝在提升桿和電動(dòng)推桿的推桿的外側(cè)，所述固定管連接在副爐室旋臂上。

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