江蘇相城提拉式長(zhǎng)晶爐回收 plc編程回收聯(lián)系電話

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一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,在半導(dǎo)體材料中用量和用途廣的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95 %以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長(zhǎng)開始時(shí) ,用低速提拉、生長(zhǎng)過(guò)程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當(dāng)今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場(chǎng)需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實(shí)際意義。

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單晶爐熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)與仿真單晶直徑在生長(zhǎng)過(guò)程中可受到溫度，提拉速度與轉(zhuǎn)速，坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速，保護(hù)氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量，而這種影響卻只能在單晶拉出后通過(guò)檢測(cè)才能獲知。溫度分布合適的熱場(chǎng)，不僅單晶生長(zhǎng)順利，而且品質(zhì)較高；如果熱場(chǎng)的溫度分布不是很合理,生長(zhǎng)單晶的過(guò)程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量，情況嚴(yán)重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長(zhǎng)不出來(lái)單晶。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，在本實(shí)施例中，所述副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)一致，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過(guò)程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托，所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動(dòng)推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151，所述電動(dòng)推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動(dòng)推桿152的推桿上，以便通過(guò)推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降，所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上，以便通過(guò)接晶托電機(jī)154驅(qū)動(dòng)托板153旋轉(zhuǎn)，所述固定管151套裝在提升桿和電動(dòng)推桿152的推桿的外側(cè)，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。

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