安徽蕪湖濾波柜回收 安徽蕪湖提拉式長晶爐回收
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本文結合某單晶爐產品的研制 ,設計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實際生產中獲得成功應用。2 設計的關鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統(tǒng)的驅動電機轉速 n經減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據(jù)硅單晶生產工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內無級調節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經折算后 (見下節(jié)式 ( 3) ) 
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用于熔化硅料的外部化料器7，所述外部化料器7的和加料坩堝62相連通，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21相連通，以便將硅料加加料坩堝62后，硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝21內。具體地，外部加料器6和外部化料器7之間設置有旋閥64，以便通過旋閥64控制外部加料器6和外部化料器7之間是否連通，所述外部化料器包括裝料器71、化料器坩堝72和用于給化料器坩堝72加熱以便硅料熔化的熱場73，所述裝料器71和加料坩堝62相連通，所述化料器坩堝72和裝料器71相連通，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，因此，在向單晶爐內不斷充入 的同時，還用真空泵將混合氣體排出爐外；在排氣時，混合氣體流經 爐中的加熱器、坩堝支持器等處，后經過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內空間較大，尤其是坩堝 支持器下方的空間較大，導致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出， 熱能消耗量較大；另外，現(xiàn)有技術中，從輸入管向爐內充入時， 充氣氣壓為1. 3x 103pa，流量為40L/min,因此其消耗量大，生產 成本較高。
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