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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。?
對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，終形成薄膜。
在光學薄膜的尺度上看（也就是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也就是說對于薄膜的光學特性來說，真空鍍膜沒有任何障礙。?
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。
利摘要顯示，本申請關于一種真空鍍膜自動加料裝置，涉及真空鍍膜領域。該真空鍍膜自動加料裝置包括支架，支架上安裝有滑動機構(gòu)，滑動機構(gòu)上安裝有驅(qū)動機構(gòu)以及加料機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)的動力輸出端與加料機構(gòu)傳動連接；加料機構(gòu)的上方還安裝有儲料罐，儲料罐將粉料輸送至加料機構(gòu)內(nèi)，加料機構(gòu)與外部管式爐的進料口接駁；其中，儲料罐上還安裝有攪拌機構(gòu)，攪拌機構(gòu)將儲料罐內(nèi)的粉料均勻的輸送至加料機構(gòu)內(nèi)。實現(xiàn)了在CVD過程中，粉末狀態(tài)的蒸發(fā)材料（如派瑞林）少量、連續(xù)進入管式爐以進行后續(xù)的加熱、升華、裂解工藝，既滿足了蒸發(fā)材料的用量，又達到了實時動態(tài)調(diào)整進料量的目的，提升了鍍膜效果，并實現(xiàn)了一種以上的蒸發(fā)材料復合鍍膜的工藝需求。
1）所需設備：CCZK-1850SFL連續(xù)式磁控鍍膜流水線
2) 獲得膜層：一層或多層金屬，合金或金屬化合物膜層
3）涂裝流程： 玻璃產(chǎn)品的前處理清洗過程---進片上線臺---粗抽室---過渡室---精抽室---緩沖室---鍍膜室---后緩沖---精抽室---過渡室---粗抽室---出片下線臺---淋漆流水線（如果需要）---包裝成品
4）基本配置：
1.腔體結(jié)構(gòu)：采用的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線，配備前后粗抽室，前后過渡室，前后精抽室，前后緩沖室，彩鍍室。
2.腔體材質(zhì)：碳鋼
3.靶材設計：采用新型旋極靶材以及平面陰極靶材。
4.電源配置：配備大功率中頻或直流磁控濺射電源
5.電氣控制：生產(chǎn)線采用PLC全過程控制，配備工業(yè)計算機人機交互系統(tǒng)，快速的節(jié)拍設計。
6.人機對話：控制系統(tǒng)能實現(xiàn)人、機對話，及時對生產(chǎn)過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
7.傳動系統(tǒng)：滾軸傳動，變頻可調(diào)
8.可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
9. 生產(chǎn)線安采用了的插板閥進行腔室隔斷，可以實現(xiàn)有效隔斷，穩(wěn)定工藝氣體。
10.生產(chǎn)線采用了均勻進氣管結(jié)構(gòu)設計，氣流注入均勻平緩；
11.泵抽系統(tǒng)：擴散泵組或分子泵組+機械泵+羅茨泵
5）需求配套設施：
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