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在本實施例中，所述副爐室升降驅(qū)動裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)一致，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機154和固定管151，所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機154的輸出軸上，以便通過接晶托電機154驅(qū)動托板153旋轉(zhuǎn)，所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側(cè)，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

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