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除塵機理示、擴散當(dāng)含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時,這些顆粒在隨氣流運動時不再沿著氣體流線繞流捕集物,因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機理被捕集物所捕集分離,而另一捕集機理——擴散在起作用。由于氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動,使氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動,使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴散,可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個氣體空間。真空技術(shù)網(wǎng)(認(rèn)為如果有一物體置于氣體之中,一些超微顆粒通過擴散而沉降在這物體的表面上,從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒,如帶有一定的電荷,可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態(tài)下,塵粒的荷電量很小,因此,要得到較好的除塵效果,設(shè)置的高壓電場,使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機理。通過超聲波、蒸汽凝結(jié)、加濕等凝聚作用,可以使微小粒子凝聚增大,然后再用一般的除塵方法去除。我們設(shè)計除塵器時要根據(jù)不同的具體情況,考慮一定的需要,采用某種除塵機理或者是幾種除塵機理的綜合運用。表1 列出幾種除塵機理的除塵情況供為參考。
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專利文獻(xiàn)CN1205362C公開了 一種直拉硅單晶爐熱場的氣流控制方 法及裝置,其包括在單晶爐晶體生長室內(nèi)的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導(dǎo)氣裝置,使含有一氧化硅的氣體的氣流經(jīng)密封導(dǎo)氣裝置的導(dǎo)氣管 及排氣口,在真空泵的作用下,排出爐外。密封導(dǎo)氣管裝置由導(dǎo)氣管、底 座、密封環(huán)、排氣口所組成,安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出,從而使混合氣體中的一氧化硅對加熱器和坩堝進(jìn)行腐蝕, 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內(nèi)充入時的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上,導(dǎo)致其流量較大,故而消耗量大,生產(chǎn)成本較高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,排氣筒與排氣口相通。上盤的幾個圓孔是除塵區(qū)域和排氣區(qū)域通道。含塵氣流未從上盤12 個圓孔排出去之前,實際的氣流運動是很復(fù)雜的。除切向和軸向運動外還有徑向運動。這樣含塵氣流會反復(fù)經(jīng)過金屬網(wǎng)(支撐內(nèi)、外層金屬網(wǎng)的金屬桿相互錯列,很明顯能夠增加氣流穿過金屬網(wǎng)的次數(shù))。前文已詳細(xì)論過除塵機理,很容易看出慣性碰撞、接觸阻留、篩濾作用、擴散在這時將成為除塵的主要作用力。塵粒與氣流分離界面是內(nèi)、外兩層金屬網(wǎng)(包括上盤在內(nèi))。
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