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本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室移動，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；、當不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進而保晶棒質(zhì)量。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統(tǒng)包括導流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。
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在本實施例中，所述副爐室升降驅(qū)動裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)一致，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機154和固定管151，所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機154的輸出軸上，以便通過接晶托電機154驅(qū)動托板153旋轉(zhuǎn)，所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側(cè)，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。
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