聚對二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對二甲苯)、Parylene C(聚一氯對二)和 Parylene D(聚二氯對二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備,可制成極薄的薄膜,主要用作薄膜和涂層,用于電子元器件的電絕緣介質、保護性涂料和包封材料等。
聚對二甲苯也叫帕利靈(Parylene)是一族由對二甲基苯合成的熱塑性塑料聚合物的通稱,它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質,可以生成數(shù)百微米內任何厚度的薄膜
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