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離線裝料技術(shù)在直拉法硅單晶生產(chǎn)中的應(yīng)用\引言直拉法(CZ)生產(chǎn)單晶硅是目前制備單晶硅的主要方法。在單晶生產(chǎn)過(guò)程中,傳統(tǒng)裝料方法為爐前裝料,即,以人工方式在單晶爐前將固態(tài)多晶硅料一塊塊地從爐體外轉(zhuǎn)移到石英坩堝內(nèi),再進(jìn)行合爐、真空檢漏[1]。整個(gè)過(guò)程非常緩慢,而且裝料過(guò)程中要避免硅料碎屑落入熱場(chǎng)內(nèi),裝料時(shí)間(清爐結(jié)束到合爐)約為2h,操作起來(lái)較繁瑣。此外,裝料工工作量不飽和,存在人力浪費(fèi)現(xiàn)象;在車間內(nèi)部裝料過(guò)程中涉及環(huán)節(jié)較多,硅料的潔凈度存在質(zhì)量隱患,不能確保硅棒的產(chǎn)品質(zhì)量[2]。隨著光伏市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈,追求低成本和率成為每一個(gè)企業(yè)市場(chǎng)的逐勝之道。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，第二部分爐體(上部)1.速度編碼器的原理型號(hào)作用以及輸入輸出(好壞如何檢測(cè))2.光電編碼器的原理型號(hào)作用以及輸入輸出(好壞如何檢測(cè))3.減速器的原理型號(hào)構(gòu)造以及傳動(dòng)原理( 好壞如何檢測(cè))3.減速器的原理型號(hào)構(gòu)造以及傳動(dòng)原理(好壞如何檢測(cè))4.各電機(jī)作用構(gòu)造(好壞如何檢測(cè))5.提升機(jī)構(gòu)的原理以及傳動(dòng)方式6.液壓機(jī)構(gòu)的原理以及傳動(dòng)方式,包括液壓泵的原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))7.各限位的作用以及關(guān)系,限位原理,輸入輸出(好壞如何檢測(cè)8.磁流體的原理,用途(如何保養(yǎng))9.

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上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過(guò)人才引進(jìn)，擁有一批高、中級(jí)技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計(jì)人員和經(jīng)營(yíng)管理人才，具有自主的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機(jī)械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢(shì)，通過(guò)與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限合作，共同開發(fā)出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐，并形成批量生產(chǎn)。

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