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整個(gè)爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外，整個(gè)爐內(nèi)不存在排氣 不暢的地方，即不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對(duì)加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕，還可使吸附在這些石墨器件上的雜質(zhì)粉 塵減少30%以上，從而確保了該爐的使用壽命，使所述石墨器件的使用壽 命從原來(lái)的90爐次提高11G爐次以上，另外還可對(duì)硅晶體的生長(zhǎng)過(guò)程起 到穩(wěn)定作用，使平均成品率從原來(lái)的65%提高68%以上，并可提高單晶 的內(nèi)在質(zhì)量。本發(fā)明的氣流導(dǎo)向裝置的一對(duì)通氣孔與該爐的 一對(duì)排氣口相 對(duì)設(shè)置，縮短了排氣管路，利于提高排氣效率。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，進(jìn)而保下驅(qū)動(dòng)裝置的工作精，所述底座和下驅(qū)動(dòng)裝置之間設(shè)置有減震裝置，所述下驅(qū)動(dòng)裝置的底端設(shè)置有承載板，所述承載板通過(guò)少兩個(gè)螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對(duì)應(yīng)的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬浚鱿聹p震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過(guò)下橡膠減震墊吸收從外界傳來(lái)的震動(dòng)，以避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?，且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎?dòng)影響到承載板。

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浮力提拉單晶爐提拉機(jī)構(gòu)特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡(jiǎn)稱(chēng)FTD)是利用浮力原理設(shè)計(jì)成的提拉式單晶爐帕,十多年來(lái),用它先后生長(zhǎng)成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國(guó)內(nèi)已有幾個(gè)廠(chǎng)家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視。可是,FTD在問(wèn)世以后,卻沒(méi)有進(jìn)行深入探討。雖然FTD的設(shè)計(jì)有過(guò)幾次變化,但由于沒(méi)有掌握設(shè)計(jì)的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴(yán)重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對(duì)多臺(tái)FTD作了分析對(duì)比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)要領(lǐng)。希望這-一卜作能夠推動(dòng)FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長(zhǎng)研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習(xí)C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}

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