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高真空退火爐

更新時間0：2025-08-29 信息編號：bb1omn8e4564e2 舉報維權

供應商	青島晨立電子有限公司店鋪
認證
報價	人民幣 220000.00元每臺
產(chǎn)地	山東
品牌	晨立
鍋爐用途	工業(yè)鍋爐
關鍵詞	高真空退火爐,真空爐,退火爐,氧化爐
所在地	山東青島即墨市泰山三路285號聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓

姜經(jīng)理

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產(chǎn)品詳細介紹

用途：

高真空退火爐供大規(guī)模集成電路、MEMS 生產(chǎn)線用做6\"硅片的合金、氧化、退火、燒結、擴散等工藝使用。同時也可下沉工藝，完成4寸wafer 的相應工藝。
一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、自動化程度:工控機控制系統(tǒng)自動控制工藝流程
5、送取片方式:手動進出舟。
6、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。
二、主要技術參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍: 200~800℃
3、恒溫區(qū)長度及精度: 600mm，
4、控制方式:由工控機統(tǒng)一管理工藝

5、真空度：2*10-4 Pa

所屬分類：鑄造及熱處理設備/工業(yè)爐

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主營產(chǎn)品: 擴散爐,退火爐,隧道式燒結爐,真空爐

青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導體設備及零部件、電子設備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供材料熱處理、電加熱設備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。主要產(chǎn)品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結爐、加磁爐、智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進口半導體設備的翻新升級改造及各大專院?？蒲性核姆菢搜邪l(fā)定制工作。公司本著和諧、共贏，以“質量求發(fā)展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為終目標的企業(yè)方針，為客戶提供的產(chǎn)品，優(yōu)良的服務。