江蘇睢寧真空爐回收 江蘇睢寧真空流量計(jì)回收

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進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并方便外部化料器的移動(dòng)、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和化料器旋臂，所述底座上設(shè)置有立柱，所述化料器旋臂鉸接在立柱上，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置連接在化料器旋臂上，所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便在不繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置；和化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊，所述支撐桿連接在化料器旋臂上，所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上，所述電機(jī)連接在絲杠上，所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上，所述外部化料器連接在連接塊上，以便通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動(dòng)，并通過所述連接塊帶動(dòng)外部化料器升降。

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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴(kuò)大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應(yīng)地，作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標(biāo)和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時(shí)（25．4mm），相應(yīng)地，生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個(gè)等級(jí)。在這發(fā)展中，有兩個(gè)條件是相輔相成、共同進(jìn)步的，這是單晶爐和拉晶工藝。

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