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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。在生產(chǎn)實(shí)際中發(fā)現(xiàn),某型號(hào)單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時(shí),提拉系統(tǒng)的軟軸會(huì)出現(xiàn)明顯的晃動(dòng),這個(gè)問(wèn)題一直制約著晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過(guò)很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對(duì)單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動(dòng)

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由于 該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，整個(gè)爐內(nèi)的 一氧化硅與的混合氣體(包括坩堝支持器14下方的混合氣體)能通暢 地排出爐外，整個(gè)爐內(nèi)不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對(duì) 加熱器7和坩堝支持器14等石墨器件的腐蝕，還可有效防止雜質(zhì)粉塵吸附 在這些石墨器件上，從而確保了該爐的使用壽命。氣流導(dǎo)向裝置20的一對(duì) 通氣孔2-3與該爐的一對(duì)排氣口 13相對(duì)設(shè)置，縮短了排氣管路的長(zhǎng)度，利 于提高排氣效率。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，計(jì)長(zhǎng)輸入小板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))7.觸發(fā)放大板(兩塊)作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))8.PLC作用原理以及類型輸入輸出(好壞如何檢測(cè))9.歐陸表的型號(hào)原理,以及一般調(diào)節(jié)方式和輸入輸出(好壞如何檢測(cè)10.電壓表,電流表,數(shù)顯表原理作用,數(shù)量輸入輸出(好壞如何檢測(cè))11.真空計(jì)類型,原理作用以及輸入輸出(好壞如何檢測(cè))12.堝跟比如何調(diào)節(jié)13.手操合的作用輸入輸出(好壞如何檢測(cè))14.D/A板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))15.計(jì)算機(jī)的作用原理,操作以及調(diào)節(jié)方16.電源的原理型號(hào)以及作用,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))17.絲相關(guān)作用18.相關(guān)電位器的型號(hào)作用

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