電子工業(yè)半導體制造:在半導體芯片制造過程中,氫氣被廣泛應用于多個環(huán)節(jié)。例如,在硅片的清洗工藝中,氫氣等離子體可用于去除硅片表面的雜質和氧化物,硅片表面的清潔和活性。在化學氣相沉積(CVD)工藝中,氫氣作為載氣和反應氣體,參與薄膜的生長過程,有助于提高薄膜的質量和性能。
管道運輸適合大規(guī)模、長距離運輸,但初期建設投資大;高壓氣態(tài)拖車運輸靈活性高,但運輸量有限,且隨著運輸距離增加,成本上升明顯提純與凈化環(huán)節(jié) 雜質含量 不同工業(yè)生產(chǎn)對氫氣純度要求不同。若原料氣中雜質含量高,提純工藝復雜,成本增加。
通過對 MOFs 的結構進行設計和優(yōu)化,可提高其對氫氣的吸附能力和吸附熱,從而提高儲存效率。同時,MOFs 的合成方法不斷改進,逐漸降低了生產(chǎn)成本。例如,采用溶劑熱法、微波輔助合成法等合成方法,可縮短合成周期、降低能耗,進而降低材料成本。
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