閔行真空流量計回收 閔行真空爐回收
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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。
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根據(jù)權(quán)利要求4所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)的上端部(2-4)的外壁與該爐的保溫筒(17)密封連接。6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)各通氣孔(2-3)與該爐的排氣口 (13)通過通氣管(19) 相連通。7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)由石墨制成。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。
所屬分類：設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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