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諸暨多晶硅鑄錠爐回收諸暨離子泵回收

更新時(shí)間1:2025-10-09 信息編號(hào):e41suhjbqe55d1 舉報(bào)維權(quán)
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供應(yīng)商 上海河辰物資回收利用有限公司 店鋪
認(rèn)證
報(bào)價(jià) 人民幣 200000.00元每臺(tái)
關(guān)鍵詞 多晶硅鑄錠爐回收
所在地 上海市
王先生
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5年

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

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并在副爐室3移取晶位的過(guò)程中,通過(guò)電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落,安全;當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí),通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并通過(guò)化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開(kāi)外部化料器7,進(jìn)而方便拆爐和清理;本發(fā)明通過(guò)減震裝置對(duì)下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震,使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響,進(jìn)而保晶棒質(zhì)量;本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩,進(jìn)而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。
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液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開(kāi)啟,爐室、副爐室上升到位后對(duì)稱旋出,保主機(jī)穩(wěn)定可靠,并便于機(jī)動(dòng)取出晶體,拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼,法蘭整體鍛造,經(jīng)過(guò)振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,提拉式單晶爐特點(diǎn)籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實(shí)現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時(shí)的系統(tǒng)平穩(wěn)性;籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無(wú)泄露,長(zhǎng)期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件,確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的靜平衡和動(dòng)平衡測(cè)試,高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動(dòng)小于2mm,適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動(dòng)直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計(jì),確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長(zhǎng)期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動(dòng)式翻板閥設(shè)在主副爐室之間,可在熱場(chǎng)維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。

所屬分類:設(shè)備回收/冶金設(shè)備回收

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