供應(yīng)商 | 蘇州碩世微電子有限公司 店鋪 |
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關(guān)鍵詞 | 晶圓扶梯晶圓查看器,合肥晶圓扶梯,晶圓扶梯晶圓工具扶梯,生產(chǎn)晶圓扶梯 |
所在地 | 江蘇蘇州園區(qū)東富路32號(hào) |
13年
位移是物體在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中位置變化,它與移動(dòng)量有關(guān)。小位移通常用應(yīng)變式、渦流式、差動(dòng)變壓器式、電感式、霍爾傳感器來(lái)檢測(cè),大位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來(lái)測(cè)量。本文采用測(cè)量直線位移量的傳感器,具體有電感式位移傳感器、電容式位移傳感器、光電式位移傳感器、超聲波位移傳感器、霍爾式位移傳感器。
目前,半導(dǎo)體制程設(shè)備中,常常需要用電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)帶帶動(dòng)滾珠絲桿,來(lái)控制晶圓的升降。而傳動(dòng)帶通過(guò)摩擦來(lái)傳遞動(dòng)力,因此傳動(dòng)帶要調(diào)整張緊力以獲得合適的摩擦力。通過(guò)調(diào)整傳動(dòng)帶的張緊度可以調(diào)整傳動(dòng)帶和齒輪之間的摩擦力,傳動(dòng)帶的張緊度可通過(guò)調(diào)節(jié)電機(jī)位置進(jìn)行調(diào)整。另外傳動(dòng)帶過(guò)緊會(huì)使傳動(dòng)帶磨損嚴(yán)重,過(guò)松則易產(chǎn)生打滑現(xiàn)象,使傳動(dòng)帶嚴(yán)重磨損甚至燒壞。
隨著制造工藝的進(jìn)步,所加工的硅片直徑越來(lái)越大,而器件特征尺寸在不斷縮小,單位面積上能夠容納的集成電路數(shù)量劇增,成品率顯著提高,單位產(chǎn)品的成本大幅度降低,可靠性等性能指標(biāo)顯著提升,促進(jìn)了大生產(chǎn)的規(guī)?;?。
所屬分類(lèi):電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
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